(1)材料表面的刻蝕-物理作用：等離子體中的大量離子.激發態分子.自由基和其他活性粒子作用于固體樣品表面，等離子清洗技術不僅可以去除表面原有的污染物和雜質，而且產生腐蝕作用，使樣品表面粗糙，提高固體表面的潤濕性能。
(2)激活鍵能，交聯功能：等離子體作用于固體表面后，固體表面的原化學鍵可以斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀交聯結構，極大地激活了表面活性。
(3)形成新的官能團-化學作用：如果將反應性氣體引入放電氣體，活化材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基.氨基.羧基等，這些官能團都是活性基團，能顯著提高材料的表面活性。
等離子清洗機的工作基本原理是等離子清洗機在真空狀態下，利用真空泵將工作室進行抽真空達到低真空度，再在高頻發生器作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態），然后利用等離子體對工件進行表面處理。
等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光。
這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，因此經由低溫等離子清洗機處理后的PET得到了表面親水性、高度清潔、激活等各種表面改性。
使用真空等離子清洗機生產出的產品遠比老式工藝生產出的產品，其粘接效果更牢固，更加高效便捷，環保節能。
等離子清洗機可以廣泛應用于電子、汽車、紡織、包裝印刷、生物醫療等行業，等離子清洗機的特點為處理效率高、重復性和穩定性良好，操作方便，廣泛適用于清洗、活化處理、從而提高粘結力和附著力。
