浙江大學科創中心PLUTO-30等離子清洗機順利安裝
浙江大學科創中心經過多方調研對比,最終選擇購買我司的PLUTO-30等離子清洗機/等離子去膠機,主要應用于8寸硅片的去膠和表面改性。對于PLUTO-30等離子
清洗機的去膠效果,客戶表示非常滿意!

PLUTO-30等離子清洗機是專為研發而設計的等離子表面處理機,13.56MHz射頻發生器和自動匹配網絡電源在整個過程區域產生均勻的等離子體,對于樣品的等離子
表面清洗處理、灰化、光刻膠去除,聚合物去除等方面都有很好的效果。
PLUTO-30等離子清洗機的真空腔可支持多達7個可調節樣品,以容納各種形狀尺寸的樣品。PLUTO-30具有多種電極設置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系
統的應用范圍,提供給用戶無與倫比的靈活性。
上海沛沅儀器設備有限公司專業致力于真空等離子清洗機/等離子表面處理機等設備的研發和生產,并致力于等離子體應用技術的市場推進和產業化。
PLUTO系列等離子清洗機受到眾多高校、科研院所及企業的認可,我們會繼續提供優質的等離子設備和服務,用科研的沉淀和應用的創新,為中國的制造業崛起和全球化戰
略盡自己的義務和責任。